发明名称 PRODUCTION OF SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH06239692(A) 申请公布日期 1994.08.30
申请号 JP19930027909 申请日期 1993.02.17
申请人 MITSUBISHI MATERIALS SHILICON CORP;MITSUBISHI MATERIALS CORP 发明人 HORIOKA YUKICHI
分类号 C30B15/00;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/00 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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