发明名称 |
PROCESS OF MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR STRUCTURES |
摘要 |
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申请公布号 |
RU1364154(C) |
申请公布日期 |
1994.08.30 |
申请号 |
SU19853963227 |
申请日期 |
1985.10.14 |
申请人 |
KOLYCHEV A.I.;GLUSHCHENKO V.N. |
发明人 |
KOLYCHEV A.I.;GLUSHCHENKO V.N. |
分类号 |
H01L21/78;(IPC1-7):H01L21/78 |
主分类号 |
H01L21/78 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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