发明名称 PROCESS OF MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR STRUCTURES
摘要
申请公布号 RU1364154(C) 申请公布日期 1994.08.30
申请号 SU19853963227 申请日期 1985.10.14
申请人 KOLYCHEV A.I.;GLUSHCHENKO V.N. 发明人 KOLYCHEV A.I.;GLUSHCHENKO V.N.
分类号 H01L21/78;(IPC1-7):H01L21/78 主分类号 H01L21/78
代理机构 代理人
主权项
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