发明名称 METHOD FOR GROWING SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH06239693(A) 申请公布日期 1994.08.30
申请号 JP19930029160 申请日期 1993.02.18
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 KUBO TAKAYUKI;MIYAHARA SHUNJI;FUJIWARA TOSHIYUKI;FUJIWARA HIDEKI;INAMI SHUICHI;OKUI MASAHIKO
分类号 C30B15/02;C30B15/20;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/02 主分类号 C30B15/02
代理机构 代理人
主权项
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