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发明名称 DEVICE FOR GENERATING PLASMA BY CATHODE SPUTTERING
摘要
申请公布号 JPH06240452(A) 申请公布日期 1994.08.30
申请号 JP19930260197 申请日期 1993.10.18
申请人 LEYBOLD AG 发明人 RUDORUFU RATSUTSU
分类号 C23C14/34;C23C14/35;H01J37/32;H01J37/34;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/31;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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