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发明名称 MEGASONIC CLEANER
摘要
申请公布号 JPH06238246(A) 申请公布日期 1994.08.30
申请号 JP19920302552 申请日期 1992.11.12
申请人 SABUMIKURON SYST INC 发明人 ROBAATO DABURIYU GURANTO;RICHIYAADO II NOBUATSUKU
分类号 B06B1/06;B08B3/12;H01L21/00;(IPC1-7):B08B3/12 主分类号 B06B1/06
代理机构 代理人
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