| 发明名称 |
FORMATION OF SILICON OXIDE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06240455(A) |
申请公布日期 |
1994.08.30 |
| 申请号 |
JP19930045824 |
申请日期 |
1993.02.10 |
| 申请人 |
TORAY DOW CORNING SILICONE CO LTD |
发明人 |
SASAKI MOTOI;NAKAMURA TAKASHI;MINE KATSUTOSHI |
| 分类号 |
C04B41/81;C01B33/12;C04B41/87;C08G77/02;C09D183/05;C23C14/10;C23C14/58;H01L21/312;H01L21/316;(IPC1-7):C23C14/58 |
主分类号 |
C04B41/81 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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