发明名称 |
SUBSTRATE CONVEYER DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06239440(A) |
申请公布日期 |
1994.08.30 |
申请号 |
JP19930055214 |
申请日期 |
1993.02.18 |
申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
YAMAMOTO SATOSHI;HIRAYAMA YOSHINOBU |
分类号 |
B65G23/28;B65G43/08;B65G47/52;B65H5/02;B65H7/20;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):B65G43/08 |
主分类号 |
B65G23/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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