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发明名称 PROCEDE DE DURCISSEMENT DE MOTIFS DE RESINE PHOTOSENSIBLE POSITIVE, APRES DEVELOPPEMENT PHOTOLITHOGRAPHIQUE
摘要
申请公布号 FR2566544(B1) 申请公布日期 1994.08.26
申请号 FR19840010046 申请日期 1984.06.26
申请人 EFCIS 发明人 MARC LAKHEL
分类号 G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/26 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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