| 发明名称 |
Pillar alignment and formation process. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0329969(B1) |
申请公布日期 |
1994.08.24 |
| 申请号 |
EP19890101341 |
申请日期 |
1989.01.26 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED |
发明人 |
BRIGHTON, JEFFREY E. |
| 分类号 |
H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90;H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/3213 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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