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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0666467(B2) 申请公布日期 1994.08.24
申请号 JP19850292512 申请日期 1985.12.27
申请人 发明人
分类号 H01L29/80;H01L29/20;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/784;H01L29/804 主分类号 H01L29/80
代理机构 代理人
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