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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0666281(B2) 申请公布日期 1994.08.24
申请号 JP19920247700 申请日期 1992.09.17
申请人 发明人
分类号 C23C16/52;C23C16/44;C23C16/455;C30B25/14;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/52
代理机构 代理人
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