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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0666254(B2) 申请公布日期 1994.08.24
申请号 JP19860047594 申请日期 1986.03.04
申请人 发明人
分类号 H01L21/30;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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