发明名称 Process for chemical vapor deposition.
摘要
申请公布号 EP0311401(B1) 申请公布日期 1994.08.24
申请号 EP19880309324 申请日期 1988.10.06
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 KIMURA, TAKAFUMI;YAMAWAKI, HIDEKI;IKEDA, KAZUTO;IHARA, MASARU
分类号 C01G1/00;C01G3/00;C04B41/87;C23C16/40;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 C01G1/00
代理机构 代理人
主权项
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