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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0665640(B2)
申请公布日期
1994.08.24
申请号
JP19890100084
申请日期
1989.04.21
申请人
发明人
分类号
C30B15/02;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/02
主分类号
C30B15/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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