<p>Bei einem Verfahren zur Behandlung der Oberfläche von Gegenständen mit einem Fluor enthaltenden Gas in einer Reaktionskammer werden die Gegenstände zunächst mit einer eine schädliche Erwärmung der zu behandelnden Gegenstände ausschließenden, geringen Fluorkonzentration in der Reaktionskammer behandelt und anschließend nach einer ersten Konditionierung der Oberfläche der Gegenstände durch Erhöhung der Fluorkonzentration die Behandlung fortgesetzt. Dadurch ist eine rasche Fluorierung ohne Überhitzungsgefahr der Gegenstände möglich.</p>
