发明名称
摘要
申请公布号 JPH0632049(Y2) 申请公布日期 1994.08.24
申请号 JP19870033732U 申请日期 1987.03.08
申请人 发明人
分类号 A47L13/16;F24F7/06;G09F3/00;H01L21/02;H01L21/304;(IPC1-7):A47L13/16 主分类号 A47L13/16
代理机构 代理人
主权项
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