| 发明名称 |
Semiconductor device manufacture using ozone treatment process |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2275366(A) |
申请公布日期 |
1994.08.24 |
| 申请号 |
GB19940003144 |
申请日期 |
1994.02.18 |
| 申请人 |
* SAMSUNG ELECTRONICS CO LIMITED |
发明人 |
JAE-HONG * KO;CHANG-SEOK * KANG;KEE WON * KWON;YONG BIN * SUN |
| 分类号 |
H01L21/318;H01L21/02;H01L21/314;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/310;H01G4/08 |
主分类号 |
H01L21/318 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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