| 发明名称 |
Force microscope and method for measuring atomic forces in several directions. |
| 摘要 |
<p>Es wird ein Sensor (100) vorgestellt, mit dem ein auf atomaren Kräften basierendes Mikroskop aufgebaut wird, das eine Darstellung der Kräfte in bis zu drei Komponenten liefert. Der Sensor (100) ist so aufgebaut, daß verschiedene Schwingungsmoden (transversal und torsional) einzeln angeregt werden können und jeder Mode einer Kraftrichtung entspricht. <IMAGE></p> |
| 申请公布号 |
EP0611945(A1) |
申请公布日期 |
1994.08.24 |
| 申请号 |
EP19930102333 |
申请日期 |
1993.02.15 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
BAYER, THOMAS;GRESCHNER, JOHANN, DR. DIPL.-PHYS.;NONNENMACHER, MARTIN, DR. DIPL.-PHYS. |
| 分类号 |
G01B21/30;G01B7/34;G01N37/00;G01Q60/38;H01J37/28;(IPC1-7):G01B7/34 |
主分类号 |
G01B21/30 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
