发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR TRACKING DOWN A PRESPECIFIED SUBCIRCUIT IN AN ELECTRICAL CIRCUIT, METHOD FOR CONSTRUCTING INTEGRATED CIRCUIT MASKS USING THE METHOD |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0541170(A3) |
申请公布日期 |
1994.08.24 |
申请号 |
EP19920203360 |
申请日期 |
1992.11.02 |
申请人 |
N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN;PHILIPS NV |
发明人 |
KOSTELIJK, ANTON PIETER |
分类号 |
G03F1/08;G06F17/50;H01L21/82;(IPC1-7):G06F15/60 |
主分类号 |
G03F1/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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