发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06236994(A) 申请公布日期 1994.08.23
申请号 JP19930044337 申请日期 1993.02.10
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 HOSOYA TETSUO;MACHIDA KATSUYUKI;IMAI KAZUO;ARAI EISUKE
分类号 H01L21/285;H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/52;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/784;H01L21/320 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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