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发明名称 INSPECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06236910(A) 申请公布日期 1994.08.23
申请号 JP19930043179 申请日期 1993.02.08
申请人 TOKYO ELECTRON YAMANASHI KK 发明人 TAKAO ITARU;NIWA SHINJI;TANOGUCHI MINORU
分类号 H01L21/66;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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