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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH06236870(A) 申请公布日期 1994.08.23
申请号 JP19930022339 申请日期 1993.02.10
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 SHITSUPOU OSAMU
分类号 H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
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