发明名称 LEAKAGE MICROWAVE DETECTOR
摘要
申请公布号 JPH06235745(A) 申请公布日期 1994.08.23
申请号 JP19930043312 申请日期 1993.02.08
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 NAKAMURA SHIZUO;HAYASHI TOSHIO;ITO MASAHIRO
分类号 G01R29/08;H05B6/76;(IPC1-7):G01R29/08 主分类号 G01R29/08
代理机构 代理人
主权项
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