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发明名称 PHOTOEXCITATION PROCESS DEVICE AND METHOD FOR REGENERATING PROTECTIVE WINDOW BY USING THE SAME
摘要
申请公布号 JPH06235068(A) 申请公布日期 1994.08.23
申请号 JP19930022384 申请日期 1993.02.10
申请人 HITACHI LTD 发明人 YAMAMOTO TATSUHARU
分类号 C23C16/48;C23C16/44;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C16/48
代理机构 代理人
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