发明名称 CLEAN ROOM
摘要
申请公布号 JPH06235540(A) 申请公布日期 1994.08.23
申请号 JP19930020153 申请日期 1993.02.08
申请人 NIPPON SANSO KK 发明人 ISHIHARA YOSHIO;NAKAGAWA KATSUHIRO
分类号 B01D46/52;F24F7/06;(IPC1-7):F24F7/06 主分类号 B01D46/52
代理机构 代理人
主权项
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