发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06236875(A) 申请公布日期 1994.08.23
申请号 JP19930022653 申请日期 1993.02.10
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 USHIGOE TAKATOSHI;YOSHIDA HIROYUKI;SAKATANI YOSHIHIRO
分类号 H01L21/265;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/90 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
地址