发明名称 PUROOBUKAADO
摘要
申请公布号 JPH0664086(B2) 申请公布日期 1994.08.22
申请号 JP19890202081 申请日期 1989.08.02
申请人 TAKEDA SANGYO KK 发明人 BANDO KENJIRO
分类号 G01R31/26;G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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