发明名称 WAFER WITH DUMMY DEFECTIVE CHIP
摘要
申请公布号 JPH06232221(A) 申请公布日期 1994.08.19
申请号 JP19930017757 申请日期 1993.02.05
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 KAMIBAYASHI HIROSHI
分类号 H01L21/02;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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