| 发明名称 |
ELECTRODE PLATE FOR PLASMA ETCHING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06232083(A) |
申请公布日期 |
1994.08.19 |
| 申请号 |
JP19930034059 |
申请日期 |
1993.01.29 |
| 申请人 |
IBIDEN CO LTD |
发明人 |
MINOURA SEIJI;HORIO TAISHIN;SATO MASAYUKI |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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