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发明名称 EXPOSING METHOD WITH CHARGED-PARTICLE BEAM
摘要
申请公布号 JPH06232034(A) 申请公布日期 1994.08.19
申请号 JP19930013849 申请日期 1993.01.29
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KOBAYASHI KATSUHIKO;YAMADA AKIO
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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