发明名称 MANUFACTURE OF CMOS INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH06232359(A) 申请公布日期 1994.08.19
申请号 JP19930330131 申请日期 1993.12.27
申请人 AMERICAN TELEPH & TELEGR CO <ATT> 发明人 KUOOFUA RII;CHIYUNNTEIN RIU
分类号 H01L21/266;H01L21/3105;H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L27/092 主分类号 H01L21/266
代理机构 代理人
主权项
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