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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06232352(A) 申请公布日期 1994.08.19
申请号 JP19930034871 申请日期 1993.01.30
申请人 SONY CORP 发明人 MIWA HIROYUKI
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8249;H01L27/06;(IPC1-7):H01L27/06 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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