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发明名称 CAPACITOR AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06232342(A) 申请公布日期 1994.08.19
申请号 JP19930039455 申请日期 1993.02.02
申请人 SONY CORP 发明人 TAHIRA KOICHI
分类号 H01L21/28;H01L21/768;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04;H01L21/90 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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