发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE WITH FILLED-GROOVE ISOLATION REGION AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH06232249(A) 申请公布日期 1994.08.19
申请号 JP19930042039 申请日期 1993.02.05
申请人 RICOH CO LTD 发明人 HARA KAZUMI
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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