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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06232123(A) 申请公布日期 1994.08.19
申请号 JP19930015751 申请日期 1993.02.02
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 MAEDA TETSUYA
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/90 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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