发明名称 INTERCONNECTION STRUCTURE OF INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH06232275(A) 申请公布日期 1994.08.19
申请号 JP19930018720 申请日期 1993.02.05
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 INANO SHIGERU
分类号 H01L23/522;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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