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发明名称 LSI INSPECTION DEVICE AND LSI INSPECTION METHOD
摘要
申请公布号 JPH06230082(A) 申请公布日期 1994.08.19
申请号 JP19930014436 申请日期 1993.02.01
申请人 SHARP CORP 发明人 NISHIKAWA SHIGEKI
分类号 G01R31/26;G01R31/28;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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