| 发明名称 |
METHOD FOR CLEANING OPTICAL COMPONENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06230325(A) |
申请公布日期 |
1994.08.19 |
| 申请号 |
JP19930032444 |
申请日期 |
1993.01.29 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
NISHIGUCHI TOSHIMOTO;NAKAJIMA IKUO;MATSUHISA HIROHIDE;ITO SUSUMU |
| 分类号 |
B01D12/00;B08B3/04;G02C11/00;G02C13/00;(IPC1-7):G02C13/00 |
主分类号 |
B01D12/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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