| 发明名称 |
PROBE BASE PLATE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06230034(A) |
申请公布日期 |
1994.08.19 |
| 申请号 |
JP19930041925 |
申请日期 |
1993.02.05 |
| 申请人 |
MEGA CHIPS:KK |
发明人 |
YOSHIMIZU TOSHIKAZU;HIKAWA TETSUSHI |
| 分类号 |
G01R1/073;G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 |
主分类号 |
G01R1/073 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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