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发明名称 HEAT TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06232064(A) 申请公布日期 1994.08.19
申请号 JP19930040408 申请日期 1993.02.04
申请人 TOKYO ELECTRON TOHOKU LTD 发明人 TANAHASHI TAKASHI
分类号 H01L21/02;F24F3/16;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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