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发明名称
PROBE DEVICE
摘要
申请公布号
JPH06232224(A)
申请公布日期
1994.08.19
申请号
JP19930039389
申请日期
1993.02.02
申请人
TOKYO ELECTRON YAMANASHI KK
发明人
YOSHIOKA HARUHIKO
分类号
G12B5/00;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
G12B5/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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