发明名称 PROBE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06232224(A) 申请公布日期 1994.08.19
申请号 JP19930039389 申请日期 1993.02.02
申请人 TOKYO ELECTRON YAMANASHI KK 发明人 YOSHIOKA HARUHIKO
分类号 G12B5/00;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G12B5/00
代理机构 代理人
主权项
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