发明名称 FORMATION OF SILICON OXIDE FILM
摘要
申请公布号 JPH06232116(A) 申请公布日期 1994.08.19
申请号 JP19930016283 申请日期 1993.02.03
申请人 SONY CORP 发明人 FUKUSHO TAKASHI;YAMANE JUNJI;MATSUDA TAKESHI
分类号 C23C16/52;H01L21/205;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 C23C16/52
代理机构 代理人
主权项
地址