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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06232153(A) 申请公布日期 1994.08.19
申请号 JP19930015775 申请日期 1993.02.03
申请人 SONY CORP 发明人 SUGIYAMA HISANOBU
分类号 H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336;H01L29/784 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
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