| 主权项 |
1.一种迈克尔生干涉仪包括有一分束器、两个彼 此围封成 90角度并在每一情形与该分束器为45之固定平面 反射 镜、一聚光透镜、一供信号辐射用之探测器、一 由一雷射 及一雷射探测器所组成的雷射参考单位与两后向 反射器, 其中该干涉仪(IF)之每一臂中,一所具光圈平面垂 直地与 光轴对准之反射器(110;110')系安装在个别的固定座 ( 106;106')上,而此固定座系依序系坚固地接至可旋转 地 装置在连接构件(103;103')内之轴(105;105')之一端与 接至固定第一齿轮(107C_1C;107C_1C')的另一端,而第 一齿轮系经由一有齿带(109;109')而耦合至结构相同 的 第二齿轮(107C_2C;107C_2C'),此第二齿轮系位于第一 齿轮(107C_1C;107C_1C')之平面内且系同心地装置于一 固定装置之电动马达(101;101')之驱动轴(102;102')且 系坚固地接至其机壳(1010;1010'),该个别的驱动轴( 102;102')系距可旋转地装置之轴(105;105')一预定的 距离以如此之方式固定地与连接构件(103;103')相连 接 ,以致在两电动马达(101;101')的两驱动轴(102;102') 转动时,在一干涉仪臂内之光路长度已缩短,而在 另一干 涉仪臂内之光路则随其同步地伸长,故两后向反射 器(110 ;110')之光圈平面经常保持不变而与该光轴垂直地 对准 。2.依据申请专利范围第1项之干涉仪,其中该光轴 在每一 情形均系平行于一圆形路径所界定的平面延伸,而 此圆形 路径则为每一后向反射器(110;110')在操作所遵循的 三 点,藉该平面每一后向反射器(110;110')系分成为两 个 个别的半部份,光束(7;7')仅在个别平面之一侧进入 每 一反射器(110;110')并与光圈表面为垂直,且经常系 在 另一侧再离开该反射器,在每一后向反射器(110;110' ) 之出口半部份的对边,一平行地对准其光圈表面的 平面装 有一反射镜(2;2'),而射出光束(7;7')系垂直地入射在 此平面反射镜上,光束(7;7')系从该处反射且沿着相 同 路径向后通过该装置。3.一种迈克尔生干涉仪包 括有一分束器、两个彼此围封成 90角度且在每一情形与该分束器为45之固定平面 反射 镜、一聚光透镜、一供信号辐射用之探测器、一 由一雷射 及一雷射探测器所组成之雷射参考单位、及两个 90之脊 边缘反射镜;其中在该干涉仪(IF)之每一臂中一所 具光圈 平面垂直地对准该光轴之90脊边缘反射镜(111)系 安装 在一个别的固定座(106)上,该固定座依序系坚固地 接至 以可旋转方式装置在一连接构件(103)内之轴(105)之 一端 及接至其系固定第一齿轮(107C_1C)之另一端,该第一 齿 轮系经由一有齿带(109)而耦合至结构相同的第二 齿轮( 107C_2C),该第二齿轮系位于第一齿轮(107C_1C)之平面 内且系同心地装置于一固定地装置的电动机(101) 之驱动 轴(102)且系坚固地接至其机壳(1010),该个别的驱动 轴( 102)系距可旋转地装置之轴(105)一预定的距离以如 此之 方式固定地接至连接构件(103),以致在该二电动机( 101) 之两驱动轴(102)转动时,在一个干涉仪臂内之光路 长度 会缩短,而在该干涉仪的另一臂内则随其同步地伸 长,而 此两90脊边缘反射镜(111)的光圈平面经常保持不 变而 与该光轴垂直地对准,及其中每一90脊边缘反射镜 (111 )的光圈为通过该干涉仪(IF)的该光束(7)之直径的 两倍, 而长度(沿着该脊边缘)则等于该90脊边缘反射镜( 111) 的转动圈之直径另加该光圈(7)之直径。4.依据申 请专利范围第1项之干涉仪,其中与两后向反射 器(110")或脊边缘反射镜中之每一联结的两连接构 件( 113")系固定地以如此的方式个别地与电动马达(101" ) 之两轴端连接,以致两干涉仪臂内的路程改变为相 反意义 。5.一种迈克尔生干涉仪包括有一分束器、两彼 此围封成90 角度及与在每一情形该分束器均为45之固定平面 反射 镜、一聚光透镜、一供信号辐射用的探测器、一 由雷射及 雷射探测器所组成的雷射参考单位、及两后向反 射器,其 中在该干涉仪之每一臂中,一所具光圈平面系垂直 地对准 该光轴的后向反射器(110)系安装在一个别的固定 座(106) 上,而此固定座(106)依序系固定于一齿轮(107C_22C), 该齿轮(107C_22C)系可旋转地安装在一连接构件(103C_ 1C )之轴状延伸部份上,在该连接构件(103C_1C)之两侧 上装 设有结构相同之两齿轮对,每对包括有一由个别的 有齿带 (109C_1C;109C_2C)所耦合之两不同齿轮(107C_21C、108 C_11C;107C_22C、108C_12C),每一齿轮对之第一齿轮( 108C_11C;108C_12C)系固定于连接构件(103C_1C)内所装 置的轴(105C_1C)之两端,而实质上与该连接构件(103C_ 1 C)之延伸部份(105C_2C)上可旋转地所装置的齿轮(107C _ 22C)相对,面向固定地装置的驱动马达(101)的齿轮对 之 第二齿轮(107C_21C)系与其驱动轴(102)同心地固定于 马 达机壳(1010),该个别的驱动轴(102)系距该可旋转地 装 置的轴(105C_1C)一预定距离以如此的方式固定地接 至连 接构件(103C_1C),以致当两电动马达(101)之两驱动轴( 102)转动时,在该干涉仪一臂内之光波长会缩短,而 在该 干涉仪另一臂内之此波长则会随其同步地伸长,且 两后向 反射器(110;110')之光圈平面经常会保持不变而与该 光 轴垂直地对准。6.依据申请专利范围第5项之干涉 仪,其中面向可旋转地 装置在该连接构件(103C_1C)的轴状延伸部份(105C_2C) 上 之后向反射器(110)的该齿轮对中齿轮(107C_22C),可在 两齿轮(108C_12C,107C_22C)的中心轴之连接线的方向内 位移地予以调整。7.一种迈克尔生干涉仪包括有 两平面反射镜(2a,2b;2a' ,2b'),一与驱动马达连结之转动后向反射器(10),后 向 反射器转动轴(70)系以后向反射器(20)之三点为准 横向地 予以偏置,两偏转反射镜(3a,3b;3a',3b')、一分束器 (4)、一聚光透镜(5)、一探测器(6)及一具有雷射及 雷射 探测器的雷射参考单位,其中该旋转后向反射器(10 )系以 如此之方式装置为干涉仪两支部的唯一后向反射 器,以致 由分束器(4)所分裂及入射在一个别的偏转镜(3a,3b; 3a ',3b')上之两光束的半部份均系偏转于单一后向反 射器( 10)之光圈次区域,此等光圈次区系以该后向反射器 转动 轴为准而彼此相对定置,两光束的半部份(100a,100b; 100a',100b')之光轴(10a,10b;10a',10b')系彼此倾 斜一2的角度及倾斜于后向反射器的转动轴(70) 一倾斜 角。第1a图为一包括有一驱动、一固定座、一 后向反射 器及具有后向反射器供干涉仪用的两齿轮之装置 的第一实 施例之示意图的侧示图;第1b图为沿着第1a图的A-B 线之 断面图;第2图为按照第1a图具有两个单位而每一单 位具 有一后向反射器之干涉仪的示意图;第3图为按照 第1a图 具有一脊边缘内反射镜以取代后向反射器之一单 位的第二 实施例之示意图;第4图为具有藉着仅一驱动加以 驱动的 后向反射器之干涉仪的第三实施例之示意图;第5 图为第 1至4各图内所提供而具有总共四个齿轮及两条齿 轮皮带 之一单位的修订图;第6图为依据本发明之干涉仪 的第四 实施例之示意图的平面图;及第7图所示亦为按照 本发明 具有最佳光束路径之干涉仪的第5实施例之示意图 的平面 |
