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发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH06232160(A) 申请公布日期 1994.08.19
申请号 JP19930033931 申请日期 1993.02.01
申请人 FUJI XEROX CO LTD 发明人 FUSE MARIO;HIKIJI TAKETO
分类号 H01L21/336;H01L21/324;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/336;H01L29/784 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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