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发明名称 MANUFACTURE OF SUSCEPTOR
摘要
申请公布号 JPH06232054(A) 申请公布日期 1994.08.19
申请号 JP19930018822 申请日期 1993.02.05
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 NAKAMURA OSAMU
分类号 C04B41/87;C30B25/12;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C04B41/87
代理机构 代理人
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