| 发明名称 |
PROBE POSITION CONTROLLER FOR MICROSCOPE EMPLOYING SCANNING PROBE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06229712(A) |
申请公布日期 |
1994.08.19 |
| 申请号 |
JP19930013890 |
申请日期 |
1993.01.29 |
| 申请人 |
JEOL LTD |
发明人 |
SUEYOSHI TAKASHI;SATO TOMOSHIGE |
| 分类号 |
G01B7/34;G01Q10/06;G01Q30/10;G01Q60/10;H01J37/28;(IPC1-7):G01B7/34 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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