DRY ETCHING METHOD,申请号JP19930014983-传众专利搜索

发明名称	DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号	JPH06232092(A)	申请公布日期	1994.08.19
申请号	JP19930014983	申请日期	1993.02.01
申请人	SONY CORP	发明人	NAGAYAMA TETSUJI;YANAGIDA TOSHIHARU
分类号	H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/302	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
主权项
地址