发明名称 SEMICONDUCTOR APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH06232201(A) 申请公布日期 1994.08.19
申请号 JP19930009633 申请日期 1993.01.25
申请人 NEC CORP 发明人 SUZUKI KATSUHIKO;SUZUKI KATSUNOBU;HAGA AKIRA;UCHIDA HIROYUKI
分类号 H01L21/60;H05K3/34;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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