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发明名称
ELECTRON BEAM ALIGNER
摘要
申请公布号
JPH06232032(A)
申请公布日期
1994.08.19
申请号
JP19930037499
申请日期
1993.02.02
申请人
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT>
发明人
KATO JUNICHI;MORITA HIROBUMI
分类号
H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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